WTi
Tisztaság
A tisztaság a célanyag egyik fő teljesítménymutatója, mert a célanyag tisztasága nagyban befolyásolja a film teljesítményét. A gyakorlati alkalmazásokban azonban a célanyagok tisztasági követelményei is eltérőek. Például a mikroelektronikai ipar gyors fejlődésével a szilíciumlapkák mérete 6", 8"-ról 12"-re nőtt, miközben a vezetékek szélessége 0,5 um-ról 0-ra csökkent. .25um, 0.18um vagy akár 0.13um Az előző céltisztaság 99,995% volt. Megfelel a 0.35umIC folyamatkövetelményeinek, de az előállításhoz szükséges céltisztaság. {15}}.18um sorok 99,999%, sőt 99,9999%.
Volfrámporlasztásos célszállító
Szennyeződés tartalom
A lerakódott filmek szennyeződésének fő forrásai a célanyagban lévő szennyeződések, valamint a pórusokban lévő oxigén és vízgőz. A különböző felhasználású célanyagok eltérő szennyezőanyag-tartalommal szemben is eltérő követelményeket támasztanak. Például a félvezetőiparban használt tiszta alumínium és alumíniumötvözet céltárgyakra speciális követelmények vonatkoznak az alkálifém-tartalomra és a radioaktív elemtartalomra.
Sűrűség
A szilárd célanyag pórusainak csökkentése és a porlasztott film teljesítményének javítása érdekében a célanyagnak általában nagyobb sűrűséggel kell rendelkeznie. A célpont sűrűsége nemcsak a porlasztási sebességet, hanem a film elektromos és optikai tulajdonságait is befolyásolja. Minél nagyobb a célsűrűség, annál jobb a film teljesítménye. Ezenkívül a célanyag sűrűségének és szilárdságának növelése lehetővé teszi, hogy a célanyag jobban ellenálljon a hőterhelésnek a porlasztási folyamat során. A sűrűség a célanyagok egyik legfontosabb teljesítménymutatója is.
Tungsten Sputtering Célgyártás
Szemcseméret és szemcseméret-eloszlás
Általában a célanyag polikristályos szerkezetű, a szemcseméret mikrontól milliméterig terjedhet. Ugyanazon célanyag esetén a finom szemcsés céltárgy porlasztási sebessége gyorsabb, mint a durva szemcsés céltárgyé; míg a kisebb szemcseméret-különbséggel (egyenletes eloszlású) céltárgynál egyenletesebb lesz a porlasztással leválasztott film vastagságeloszlása.
